construct. Kontrollapparatur
Универсальный русско-немецкий словарь. Академик.ру. 2011.
контрольное оборудование трубопроводной системы — Оборудование трубопроводной системы, предназначенное для поддержания установленного давления медицинских газов. Примечание Примеры оборудования: регуляторы давления, предохранительные клапаны, сигнализаторы, различные клапаны. [ГОСТ Р 52423 2005] … Справочник технического переводчика
контрольное отверстие — 3.8 контрольное отверстие (test port): Отверстие, обеспечивающее возможность испытания целостности оборудования с ограниченным пропуском газов после установки при проведении первичной проверки и технического обслуживания. Источник: ГОСТ Р МЭК… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
Контрольное устройство на транспортном средстве — Под контрольным устройством оборудование, предназначенное для установки на дорожных транспортных средствах в целях показания или регистрации в автоматическом или полуавтоматическом режиме данных о движении этих транспортных средств или об… … Официальная терминология
Испытание контрольное — – одно или более испытаний, проводимых, как правило, по распоряжению сертификационного органа для подтверждения соответствия изделия всем требованиям стандарта и для оценки эффективности контроля производственного процесса на предприятии.… … Энциклопедия терминов, определений и пояснений строительных материалов
Испытание контрольное внутреннее — – текущий статистический контроль качества летучей золы на основе контроля проб, взятых производителем или его представителем на выходе ( ах) установки, производящей летучую золу. [СТБ EN 450 1 2009 перевод DIN EN 450 1:2008 05, EN 450… … Энциклопедия терминов, определений и пояснений строительных материалов
ГОСТ Р МЭК 60079-15-2010: Взрывоопасные среды. Часть 15. Оборудование с видом взрывозащиты «n» — Терминология ГОСТ Р МЭК 60079 15 2010: Взрывоопасные среды. Часть 15. Оборудование с видом взрывозащиты «n» оригинал документа: 3.7 вид взрывозащиты « n» (type of protection «n»): Вид взрывозащиты, заключающийся в том, что электрооборудование,… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
Aérospatiale-BAC Concorde — Concorde Concorde в аэропор … Википедия
Конкорд (самолет) — Concorde Concorde в аэропорту Хитроу. Тип сверхзвуковой пассажирский самолёт Производитель Aérospatiale ( Первый полёт 2 марта 1969 Начало эксплуатации … Википедия
Конкорд (самолёт) — Concorde Concorde в аэропорту Хитроу. Тип сверхзвуковой пассажирский самолёт Производитель Aérospatiale ( Первый полёт 2 марта 1969 Начало эксплуатации … Википедия
Телевизионная станция — комплекс устройств и сооружений, служащих для подготовки программ телевизионного вещания или (и) их передачи посредством радиоволн (с целью последующего приёма Телевизорами). Т. с. одно из основных звеньев телевизионной передающей сети… … Большая советская энциклопедия
Газораспределительный пункт — (a. gas distributing station; н. Gasverteilungsstelle; ф. poste de distribution de gaz; и. estacion de distribucion de gas) установка, предназначенная для редуцирования газа, измерения и учёта его расхода, одоризации и распределения по… … Геологическая энциклопедия
universal_ru_de.academic.ru
check-out equipment
Русско-английский политехнический словарь. Академик.ру. 2011.
контрольное оборудование трубопроводной системы — Оборудование трубопроводной системы, предназначенное для поддержания установленного давления медицинских газов. Примечание Примеры оборудования: регуляторы давления, предохранительные клапаны, сигнализаторы, различные клапаны. [ГОСТ Р 52423 2005] … Справочник технического переводчика
контрольное отверстие — 3.8 контрольное отверстие (test port): Отверстие, обеспечивающее возможность испытания целостности оборудования с ограниченным пропуском газов после установки при проведении первичной проверки и технического обслуживания. Источник: ГОСТ Р МЭК… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
Контрольное устройство на транспортном средстве — Под контрольным устройством оборудование, предназначенное для установки на дорожных транспортных средствах в целях показания или регистрации в автоматическом или полуавтоматическом режиме данных о движении этих транспортных средств или об… … Официальная терминология
Испытание контрольное — – одно или более испытаний, проводимых, как правило, по распоряжению сертификационного органа для подтверждения соответствия изделия всем требованиям стандарта и для оценки эффективности контроля производственного процесса на предприятии.… … Энциклопедия терминов, определений и пояснений строительных материалов
Испытание контрольное внутреннее — – текущий статистический контроль качества летучей золы на основе контроля проб, взятых производителем или его представителем на выходе ( ах) установки, производящей летучую золу. [СТБ EN 450 1 2009 перевод DIN EN 450 1:2008 05, EN 450… … Энциклопедия терминов, определений и пояснений строительных материалов
ГОСТ Р МЭК 60079-15-2010: Взрывоопасные среды. Часть 15. Оборудование с видом взрывозащиты «n» — Терминология ГОСТ Р МЭК 60079 15 2010: Взрывоопасные среды. Часть 15. Оборудование с видом взрывозащиты «n» оригинал документа: 3.7 вид взрывозащиты « n» (type of protection «n»): Вид взрывозащиты, заключающийся в том, что электрооборудование,… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
Aérospatiale-BAC Concorde — Concorde Concorde в аэропор … Википедия
Конкорд (самолет) — Concorde Concorde в аэропорту Хитроу. Тип сверхзвуковой пассажирский самолёт Производитель Aérospatiale ( Первый полёт 2 марта 1969 Начало эксплуатации … Википедия
Конкорд (самолёт) — Concorde Concorde в аэропорту Хитроу. Тип сверхзвуковой пассажирский самолёт Производитель Aérospatiale ( Первый полёт 2 марта 1969 Начало эксплуатации … Википедия
Телевизионная станция — комплекс устройств и сооружений, служащих для подготовки программ телевизионного вещания или (и) их передачи посредством радиоволн (с целью последующего приёма Телевизорами). Т. с. одно из основных звеньев телевизионной передающей сети… … Большая советская энциклопедия
Газораспределительный пункт — (a. gas distributing station; н. Gasverteilungsstelle; ф. poste de distribution de gaz; и. estacion de distribucion de gas) установка, предназначенная для редуцирования газа, измерения и учёта его расхода, одоризации и распределения по… … Геологическая энциклопедия
polytechnic_ru_en.enacademic.com
В производстве ИС важное место принадлежит контролю качества проведения. технологического процесса, состоящего из нескольких десятков различных операций и .переходов. Несовершенство и нестабильность отдельных технологических операций и оборудования, приводящие к невоспроизводимости и разбросу параметров изготовленных структур, ошибки операторов делают неизбежным появление дефектов в процессе изготовления ИС. Поэтому для обнаружения дефектов и устранения дефектных структур из последующего цикла изготовления, а также для проверки соответствия изготовленной ИС требованиям технических условий используется контрольно-измерительное оборудование.
Различают два вида контроля ИС: производственный и контроль готовых структур. Производственный контроль является составной частью технологического процесса и направлен на обнаружение явных и скрытых дефектов. Этот контроль может носить как пассивный, так и активный диагностический характер. Производственный контроль охватывает целый комплекс различных физических, химических и электрических методов измерений как материалов, полуфабрикатов, структурных элементов и готовых ИС, так и технологических режимов и параметров отдельных операций.
Контролируется качество обработки полупроводниковых подложек, эпитаксиально выращенных полупроводниковых пленок, а также диэлектрических, металлических, магнитных и других пленок, качество диффузии и ионного легирования, отжига полупроводниковых структур, качество проведения микролитографии, травления, сборочных и заключительных операций.
Разработано большое число методов анализа поверхности и приповерхностных слоев. Эти методы классифицируются по типам возбуждающего и регистрируемого излучений, приняты следующие обозначения: ЭСХА — электронная спектроскопия для химического анализа; УФЭС — ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия; ЭЗМА — электронно-зондовый микроанализ; СПВ — спектроскопия потенциалов возбуждения; ЭМ — электронная микроскопия; РЭМ — растровая ЭМ; ОЭС — Оже-электронная спектроскопия; ДМЭ — дифракция медных электронов; ДБЭО — дифракция быстрых электронов на отражение; ИС — ионизационная спектроскопия; СПЭ — спектроскопия потерь энергии; ЭФИБ — эмиссия фотонов при ионной бомбардировке; ИОЭС — ионная Оже-электронная спектроскопия; РИНЭ — рассеяние ионов низких энергий; РИВЭ —рассеяние ионов высоких энергий; МСВИ — масс-спектроскопия вторичных ионов; ИМА — ионно-зондовый микроанализ; ПМЗ — протонный микрозонд.
Для исследования образцов указанными выше методами необходимо осуществлять их препарирование. Послойное стравливание образцов проводят с помощью избирательных травителей, воздействующих либо на пленку, либо на подложку. Все большее распространение для препарирования образцов находит метод ионного распыления. При этом одновременно с распылением.
Полупроводниковые приборы и микросхемы применяют в разнообразной аппаратуре, работающей в самых различных условиях: при повышенной влажности, резком изменении температуры и т. п.
Почти для всех видов аппаратуры (в особенности космической, авиационной, медицинской, корабельной) необходимы долговечность и практическая безотказность комплектующих полупроводниковых приборов и микросхем в течение всего времени их работы и хранения. Высокая надежность приборов и микросхем обеспечивается не только качеством и воспроизводимостью технологии их изготовления, но и полнотой отбраковочных испытаний и контроля на всех стадиях производства.
После сборочных операций приборы или микросхемы должны пройти ряд технологических (отбраковочных) испытаний, включающих в себя комплекс различных воздействий, измерение основных электрических параметров и визуальный контроль. Это обусловлено тем, что отдельные приборы после сборки могут иметь скрытые дефекты, образованные вследствие несовершенной конструкции и отклонения технологических режимов при монтаже и герметизации; они не выдержат длительной работы в устройствах при различных воздействиях, которые оговорены техническими условиями. В результате технологических испытаний такие изделия отбраковывают.
Выдержавшими испытания считаются приборы и микросхемы, которые после испытаний не изменили своей конструктивной формы и внешнего вида, сохранили герметичность корпуса и электрические параметры.
В полупроводниковой промышленности установлены следующие виды технологических (отбраковочных) испытаний
и контроля: визуальный контроль до герметизации; механические, климатические и электрические испытания после герметизации; проверка герметичности; визуальный контроль внешнего вида; рентгенотелевизионный контроль.
Состав и последовательность технологических испытаний (табл. 24) устанавливают в технологической документации, исходя из особенностей конструкции приборов и микросхем и технологических процессов их изготовления с учетом видов дефектов и механизмов отказов, характерных для данного типа изделия и его назначения.
Визуальный контроль приборов и микросхем проводят до и после герметизации. Визуальным контролем до герметизации устанавливают состояние поверхности кристалла, элементов конструкции и качества монтажа, а после герметизации — дефекты приборов и микросхем, возникшие при их герметизации. При контроле рекомендуется использовать образцы внешнего вида прибора или микросхемы, рисунки и фотографии, иллюстрирующие дефекты, по которым бракуется прибор.
Ренгенотелевизионный контроль проводят с целью непосредственного наблюдения и исследования внутренней структуры приборов и микросхем. Он предназначен для дополнительной проверки качества сборки и оценки эффективности визуального контроля до герметизации.
Климатические испытания включают испытания на воздействие повышенной температуры, на воздействие смены температур и на влагостойкость.
Испытания на воздействие повышенной температуры предназначены для стабилизации параметров. Их проводят в камерах теплоты, обеспечивающих заданную температуру (от 70 до 200 °С) в течение заданного времени. Рекомендуемая длительность термовыдержки 48±4 ч. Режимы указываются в технологической документации.
Испытания на воздействие смены температур (термоциклирование) применяют для проверки качества выполненных ранее различных внутренних соединений прибора, прочности металлостеклянных спаев, качества защиты. Изделия подвергают воздействию не менее трех непрерывно следующих друг за другом циклов. Каждый цикл состоит из двух этапов выдержки изделий в камерах теплоты и холода, обеспечивающих заданный режим. В камере теплоты и холода (рис.16.1) устанавливается заданный температурный режим не более чем за 5 мин после загрузки в них приборов. Нижнее значение температуры устанавливается — 60 °С, верхнее выбирают из ряда от 70 до 175 °С. Время переноса изделий из камеры холода в камеру теплоты и обратно не должно превышать 1 мин.
В настоящее время в промышленности при испытании на воздействие смены температур наиболее широко применяют специальные камеры РКТЦ-65-200. Циклическое изменение температуры вызывает изменения линейных размеров всех деталей приборов и микросхем. Ненадежные спаи дадут трещины, обрывы, плохое лаковое покрытие может обнажить электрический переход. Приборы с нарушениями обнаруживают путем внешнего осмотра и измерения основных электрических параметров.
Испытание на влагостойкость применяют для выявления дефектов пластмассовых конструкций. Изделия выдерживают в камере влажности при 50 или 85 °С и относительной влажности 85±3% или 95±3% не менее 2 сут.
В камере влажности устанавливаются заданные значения температуры и влажности. Она выполнена в виде шкафа и состоит из каркаса с обшивкой, рабочей камеры, систем нагрева и автоматического регулирования теплоты, систем создания и автоматического регулирования влажности.
Рисунок 16.1- Камера теплоты и холода КТХ-0,4-65/155
1 –пенопласт, 2 –рабочий объем камеры, 3 –дверь, 4 –блокировочная кнопка, 5 – панель управления,6-пульт управления,7,11- запорные вентили,8-конденсатор,9- каркас,10-съемная панель,12- реле давления,13- конденсатор-испаритель,14- нагреватель,15- выключатель,16- вентилятор,17- привод вентилятора,18,19- испарители фреона-22 и фреона-13,20- датчики температуры,21- перегородка.
Испытания на стойкость к механическим воздействиям служат для проверки механической прочности конструкции и качества выполненных ранее внутренних соединений (приварка выводов, спаев керамики и стекла с металлами и пр.). С помощью этих испытаний устанавливают, не образуются ли кратковременные либо постоянные короткие замыкания или обрывы.
Как указывалось выше, в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем используют испытания на воздействие одиночных ударов и испытания на воздействие линейных (центробежных) нагрузок.
При испытании на воздействие одиночных ударов приборы с помощью специального приспособления жестко закреплены на платформе испытательной установки. Величина ускорения и длительность ударного импульса указываются в технологической документации. На рис. 16.2 показана кинематическая схема ударного стенда.
Принцип действия ударного стенда основан на свободном падении стола (массивной стальной плиты) с испытываемыми изделиями; падая, плита ударяется об опоры.
Передача ударных нагрузок осуществляется по следующей кинематической цепи. От электродвигателя 7 вращение передается на червячный редуктор 8 и горизонтальный вал 9. На валу жестко закреплен кулачок 10, на который опирается вертикальный шток 4. На штоке смонтирована ударная пружина 6, которая нижним концом упирается во фланец, жестко закрепленный на штоке, а верхним — в стакан планки 5. Планка регулировочными винтами // связана с плитой основания стенда. При изменении длины пружины изменяется ударная нагрузка. Ударные импульсы устанавливают с помощью линейки 12. При совмещении стрелки, расположенной на планке 5, можно быстро налаживать стенд на заданные ударные нагрузки.
Верхний конец штока 4 оканчивается фланцем, который через стержень 14 связан со стаканом 3. Ударный импульс возникает после удара штока 4 в стакан 3 под действием ударной пружины. Между корпусом стенда / и плитой 2, а также между стаканом 3 и направляющей установлены прокладки 15, оказывающие влияние на длительность ударного импульса. Плита 2 фиксируется на колонках 13.
При вращении кулачка 10 шток поднимается вверх, сжимает ударную пружину и поднимает направляющие с плитой на 3—4 мм. При падении шток под действием ударной пружины ударяет в стакан, удар передается на плиту и корпус с приборами. Частота ударов регулируется частотой вращения электродвигателя от пульта управления.
Отдельные типы микросхем и особенно приборы в микромодульном исполнении подвергают испытаниям на удар с индикацией обрывов электродов путем простукивания специальным механическим молоточком. Микросхемы или приборы загружают в специальные зажимы, укрепленные на плите приспособления, по которым с определенной силой и частотой ударяет механический молоточек. При наличии кратковременного обрыва в испытуемой интегральной микросхеме с резистора снимается положительный импульс напряжения, который фиксируется индикаторным устройством.
Испытание на воздействие линейных (центробежных) нагрузок предназначено для выявления приборов с дефектами монтажа и ослабленными узлами соединений выводов и корпуса.
Приборы или микросхемы с помощью специального приспособления закрепляют на роторе центрифуги так, чтобы обеспечить приложение линейного ускорения заданной величины и направления. Величина линейного ускорения устанавливается в технологической документации исходя из особенностей конструкции прибора
Рисунок 16.2 – Кинематическая схема ударного стенда
1 –стол стенда, 2 –плита, 3 –стакан, 4 –шток, 5 – планка,6- ударная пружина,7- электродвигатель,8- червячный редуктор,9- горизонтальный вал, 10- кулачок, 11- регулировочный винт,12- линейка,13- колонка,14- стержень,15- резиновые прокладки
Испытания проводят при воздействии линейного ускорения в одном наиболее опасном направлении. Продолжительность воздействия 1 мин.
В процессе производства полупроводниковых приборов и ИС подложки проходят через большое число операций (до 200). Однако в процессе производства только несколько десятков ключевых операций (20-50) имеют прямое влияние на характеристики приборов.
Производственный контроль включает:
· Контроль технологических процессов;
· Операционный контроль;
· Приемочный контроль.
Что должны контролировать и измерять ?
1. Геометрические размеры элементов (ширина, толщина, глубина залегания, рельеф травления).
2. Электрофизические характеристики слоев (ρv,ТКС, концентрация, профиль концентрации, ε, tg δ, Епφ, Nss, BAX,ВФХ,тип проводимости).
3. Химические (состав, скорость травления).
4. Механические характеристики (механические напряжения, плотность, твердость, трибологические характеристики, адгезия).
5. Кристаллографические характеристики (структура, наличие дефектов, размер зерна, и т. п.)
К жесткому коромыслу 4, установленному на шарнире 6, прикреплена корундовая игла 3 и подвижный груз W0, служащий для компенсации веса индентора. Механизм 5 обеспечивает мягкое опускание иглы под действием нагрузки W на образец 2.
· Метод нормального отрыва;
· Метод липкой ленты.
Таблица16.1- Состав и последовательность технологических испытаний
| Вид контроля и испытаний | Приборы в пластмассовом корпусе не имеющие внутренних полостей | Приборы имеющие внутреннюю полость |
| + + + + + + | + + + + + + + + |
Климатические испытания включают испытание на воздействие повышенной температуры, смены температуры и на влагостойкость. Для м/схем специального назначения добавляются испытания на морской туман, испытания на грибок.
Испытания на повышенную температуру проводят при 70-2000С в течение 48 ±44.
Испытание на воздействие смены температуры проводят при-600С до или 1750С
Испытание на влагостойкость: Т=50 и 850С; влажность 85 ±3% или 95 ±3% в течение 48 часов.
Полупроводниковые приборы и м/схемы, применяются в разнообразной аппаратуре, работающей в самых разнообразных условиях, при повышенной влажности, резком изменении температуры и т.д.
Почти для всех видов аппаратуры (в особенности для космической, авиационной, корабельной и медицинской) необходима долговечность и практическая безотказность в течение всего времени работы и хранения.
После сборочных операции приборы или м/схемы должны пройти ряд технологических (отбраковочных) испытаний. Выдержавшими испытания считаются приборы и м/схемы, которые не изменили своей конструктивной формы и внешнего вида, сохранили герметичность корпуса и электрические параметры.
Рентгенотелевизионный контроль.по сравнению с оптической микроскопией обладает более высокими значениями пространственного разрешения и глубины резкости, а также возможностью одновременного проведения химического атомарного анализа.
На рисунке представлена блок-схема растрового ЭМ. Электроны генерируются э/пушкой с ускорением напряжения 0,5-25КВ, затем фокусируются в пучок малого диаметра, 0,1-1 мкм, разворачиваемый в растр на поверхность образца. При этом возбуждаются 3 типа излучения: рентгеновское, вторичные электроны и отраженные электроны.
Ток вторичных электронов используется для модуляции интенсивности электронного луча в ЭЛТ. Поскольку развертка электронного луча в ЭЛТ синхронизирована с разверткой первичного э/пучка, на экране ЭЛТ формируется изображение поверхности образца, яркость отдельных элементов которого определяется изменениями интенсивности вторичных или отраженных электронов.
Для проведения химического анализа используется рентгеновское излучение.
poznayka.org
